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第一章三氟化氮产品概述
1.1电子特种气体——三氟化氮概述
1.2三氟化氮的产业与市场简述
1.2.1三氟化氮的应用领域
1.2.2三氟化氮的市场简况
1.2.3三氟化氮的产业简况
1.3三氟化氮行业的特点
1.3.1行业兴衰与半导体、光伏、液晶显示产业发展有着关系密切
1.3.2三氟化氮产品优势得到发挥
1.3.3市场垄断性强
1.3.4全球LCD产能加速向中国集中，利好三氟化氮市场
1.4在当前环境保护要求的形势变化下三氟化氮产品发展前景成为变数
1.4.1三氟化氮纳入我国温室气体
1.4.2三氟化氮替代产品得到发展
第二章电子特种气体、氟化工品应用市场
2.1电子特种气体概述
2.2电子特种气体制造中的主要技术方面
2.3电子特种气体的纯净度要求
2.4电子特种气体产品市场竞争的焦点问题
2.4.1对电子特种气体杂质、纯度要求的问题
2.4.2气体配送及供应问题
2.4.3储存、使用中的安全性问题
2.4.4成本性问题
2.5国内外电子特种气体行业发展概述
2.5.1境外电子特种气体生产与市场情况
2.5.2国内电子特种气体行业及其发展
2.6氟化工产业概述
2.6.1氟化工产业中的重要产品
2.6.2我国氟化工产业发展情况
第三章三氟化氮的主要特性
3.1物理特性
3.2毒性及危险性
3.3反应性
3.4相关的安全性
3.5主要性能及标准
3.5.1对纯度的一般质量指标要求
3.5.2美国气体及化学产品公司的NF3的工业标准
3.5.3 SEMI的三氟化氮标准
3.5.4三氟化氮 我国国家标准（GB/T 21287-2021）
第四章三氟化氮的主要生产工艺方法
4.1 NF3的制备方法
4.1.1概述
4.1.2直接化合法
4.1.3化学氟化
4.1.5电解法
4.2 NF3粗品纯化工艺加工
4.2.1 NF3粗品纯化工艺法的种类
4.2.2低温精馏法
4.2.3化学吸收法
4.2.4化学转化法
4.2.5选择吸附法
4.3安全生产的问题
4.4在半导体晶元工厂的供应系统
第五章三氟化氮的主要应用领域概述
5.1概述
5.2三氟化氮在集成电路中的应用
5.2.1集成电路芯片制程
5.2.2化学气相沉积和气体应用
5.3作为清洗剂、刻蚀剂在半导体制造中的应用
5.3.1替代PFC作为清洗剂
5.3.2等离子增强化学气相沉积（PECVD）
5.3.3在PECVD的干刻蚀、清洗加工中的应用
5.4高纯NF3在薄膜硅太阳电池中的应用
5.4.1非晶硅薄膜太阳能电池
5.4.2 SI薄膜的材料光学特性
5.4.3非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用
5.5用三氟化氮作氟化剂
5.5.1六氟化钨的理化性质及用途
5.5.2 NF3是制造WF6
5.5.3世界WF6的生产现况
5.5.4国内生产WF6的情况
5.6三氟化氮作为氟源在化学激光器中应用
5.7 NF3在IC和TFT-LCD应用市场扩展的三阶段
5.8 NF3在不同应用领域中应用量的比例
第六章世界及我国NF3的半导体市场调查与分析
6.1世界半导体硅片生产与市场发展
6.1.1世界半导体生产的现况
6.1.2世界半导体硅片的生产状况
6.2我国半导体晶圆生产与市场现况与发展
6.2.1我国集成电路市场、产业发展现状
6.2.2我国集成电路晶圆制造业情况
6.2.3我国集成电路晶圆主要生产厂家情况
第七章世界及我国NF3的液晶显示器市场调查与分析
7.1世界平板显示器产业发展现况
7.2我国平板显示器产业现况与未来发展预测
7.2.1我国液晶显示产业发展概述
7.2.2我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测
7.2.3我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析
第八章世界及我国NF3的薄膜硅太阳电池市场调查与分析
8.1国内外光伏产业的发展
8.1.1世界光伏产业的快速发展
8.1.2我国光伏产业发展环境与现况
8.2薄膜太阳能电池的生产与市场
8.2.1薄膜太阳能电池特点及品种
8.2.2薄膜太阳能电池未来市场发展前景
8.2.3薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化
8.3国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业
8.3.1境外薄膜太阳能电池生产厂家概况
8.3.2国内薄膜太阳能电池生产厂家概况
第九章世界NF3的生产现状与发展
9.1概述
9.2世界三氟化氮生产现况
9.3美国的NF3生产现状与厂家
9.3.1美国AP公司
9.3.2杜邦公司
9.4日本的NF3生产现状与厂家
9.4.1关东电化工业公司
9.4.2三井化学公司
9.4.3中央玻璃公司
9.5韩国的NF3生产现状与厂家
9.5.1韩国奥瑟亚
9.5.2韩国晓星
9.5.3 SK MATERIALS
9.6中国台湾的NF3生产现状与厂家
第十章我国国内NF3的生产现状与发展
10.1国内NF3生产的发展
10.2国内NF3生产需求市场
10.3国内NF3的主要生产厂家
10.3.1国内NF3的生产厂家概述
10.3.2南大光电
10.3.3昊华科技
10.3.4中国船舶重工集团公司第七一八研究所
10.3.5其它厂家
10.4国内与NF3气体相关的科研、协会机构
第十一章2024-2030年三氟化氮行业投资前景
11.1 2024-2030年三氟化氮市场发展前景
11.1.1 2024-2030年三氟化氮市场发展潜力
11.1.2 2024-2030年三氟化氮市场发展前景展望
11.1.3 2024-2030年三氟化氮细分行业发展前景分析
11.2 2024-2030年三氟化氮市场发展趋势预测
11.2.1 2024-2030年三氟化氮行业发展趋势
11.2.2 2024-2030年三氟化氮市场规模预测
11.2.3 2024-2030年三氟化氮行业应用趋势预测
11.2.4 2024-2030年细分市场发展趋势预测
11.3 2024-2030年中国三氟化氮行业供需预测
11.3.1 2024-2030年中国三氟化氮行业供给预测
11.3.2 2024-2030年中国三氟化氮行业需求预测
11.3.3 2024-2030年中国三氟化氮供需平衡预测
11.4影响企业生产与经营的关键趋势
11.4.1市场整合成长趋势
11.4.2需求变化趋势及新的商业机遇预测
11.4.3企业区域市场拓展的趋势
11.4.4科研开发趋势及替代技术进展
11.4.5影响企业销售与服务方式的关键趋势
第十二章2024-2030年三氟化氮行业投资机会与风险
12.1三氟化氮行业投融资情况
12.1.1行业资金渠道分析
12.1.2固定资产投资分析
12.1.3兼并重组情况分析
12.2 2024-2030年三氟化氮行业投资机会
12.2.1产业链投资机会
12.2.2细分市场投资机会
12.2.3重点区域投资机会
12.3 2024-2030年三氟化氮行业投资风险及防范
12.3.1政策风险及防范
12.3.2技术风险及防范
12.3.3供求风险及防范
12.3.4宏观经济波动风险及防范
12.3.5关联产业风险及防范
12.3.6产品结构风险及防范
12.3.7其他风险及防范
图表目录
图表1：三氟化氮主要特征分析
图表2：2019-2023年全球电子特种气体行业市场规模情况
图表3：2019-2023年中国电子特种气体行业市场规模走势
图表4：氟化工分类
图表5：2019-2023年中国氟化工行业每年新增企业数量变化情况
图表6：2019-2023年中国氟化工行业市场规模走势
图表7：NF3在不同应用领域中的应用量比例
图表8：2019-2023年我国三氟化氮行业供需平衡走势图
图表9：2019-2023年中国三氟化氮行业市场需求情况
图表10：2019-2023年中国三氟化氮行业市场均价走势
图表11：2024-2030年三氟化氮市场规模预测
图表12：2024-2030年中国三氟化氮行业供给预测
图表13：2024-2030年中国三氟化氮行业需求预测
图表14：2024-2030年中国三氟化氮供需平衡预测

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