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第一章 半导体、光伏产业用高纯硅烷概述 16
 1.1 高纯硅烷简介 16
 1.2 高纯硅烷的主要基本性能与质量指标 17
 1.3 高纯硅烷的主要应用领域 18
 1.4 高纯硅烷在发展我国电子工业中的重要作用 19
 第二章 电子特种气体及其应用市场 20
 2.1 电子特种气体概述 20
 2.2 电子特种气体制造中的主要技术方面 21
 2.3 电子特种气体的纯净度要求 23
 2.4 电子特种气体产品市场竞争的焦点问题 25
 2.4.1 对电子特种气体杂质、纯度要求的问题 25
 2.4.2 气体配送及供应问题 26
 2.4.3 储存、使用中的安全性问题 27
 2.4.4 成本性问题 28
 2.5 国内外电子特种气体行业发展概述 29
 2.5.1 境外电子特种气体生产与市场情况 29
 2.5.2 国内电子特种气体行业及其发展 30
 第三章 高纯硅烷气体性能指标及制备、净化的工艺路线 33
 3.1 高纯硅烷的性能指标 33
 3.2 高纯硅烷工业化制备的典型工艺路线 34
 3.2.1 制备工艺法概述 34
 3.2.2 硅化镁合金法制备硅烷 34
 3.2.2.1 工艺过程 34
 3.2.2.2 主要反应 36
 3.2.2.3 工艺特点 36
 3.2.2.4 工艺法存在的问题 37
 3.2.3 三氯氢硅还原法制备硅烷 37
 3.2.3.1 工艺过程 37
 3.2.3.2 主要反应 39
 3.2.3.3 工艺特点 39
 3.2.3.4 工艺法存在的问题 40
 3.2.4 四氟化硅还原法制备硅烷 41
 3.2.4.1 工艺过程 41
 3.2.4.2 主要反应 41
 3.2.4.3 工艺特点 41
 3.2.4.4 工艺法存在的问题 42
 3.2.5 氯硅烷歧化法制备硅烷 42
 3.2.5.1 工艺过程 42
 3.2.5.2 主要反应 42
 3.2.5.3 工艺特点 42
 3.2.5.4 工艺法存在的问题 43
 3.2.6 烷氧基硅烷歧化法 43
 3.2.6.1 工艺过程 43
 3.2.6.2 主要反应 44
 3.2.6.3 工艺特点 44
 3.2.6.4 工艺法存在的问题 44
 3.3 高纯硅烷气体的净化工艺路线 45
 3.3.1 气体的净化方法概述 45
 3.3.2 高纯硅烷的净化过程 45
 3.4 工业高纯硅烷气体的包装及贮运 46
 第四章 国内外高纯硅烷生产与主要企业现况 47
 4.1 世界高纯硅烷产销、市场规模的概况 47
 4.2 国外高纯硅烷主要生产企业产销情况 47
 4.3 国外高纯硅烷主要生产企业简况 48
 4.3.1 REC Silicon公司 48
 4.3.2 Dowcorning公司 51
 4.3.3 SODIFF新素材有限公司 54
 4.3.4 MEMC公司 57
 4.3.5 Air Liquid公司 60
 4.3.6 日本电气工业公司 64
 4.3.7 大阳日酸公司 67
 4.3.8 Evonik Industries公司 70
 4.4 国内硅烷业的发展概述 72
 4.4.1 我国高纯硅烷业发展的概述 72
 4.4.2 我国硅烷研发、生产的历史 74
 4.5 国内高纯硅烷生产企业现况 75
 4.5.1 国内高纯硅烷生产企业总述 75
 4.5.2 浙江中宁硅业有限公司 75
 4.5.3 浙江赛林硅业有限公司 81
 4.5.4 滁州市硅谷特种气体有限公司 88
 4.5.5 六九硅业有限公司 95
 4.5.6 浙江金华美晶硅电子有限公司 102
 4.5.7 黑龙江金业电子气体股份有限公司 108
 4.5.8 深圳市金业长健新材料股份有限公司 115
 第五章 高纯硅烷主要应用领域的概述 122
 5.1 高纯硅烷在集成电路中的应用 122
 5.1.1 集成电路芯片制程 122
 5.1.2 化学气相沉积和气体应用 122
 5.1.3 高纯硅烷在化学气相沉积中作为气源形成的薄膜 131
 5.2 高纯硅烷在薄膜硅太阳电池中的应用 132
 5.2.1 非晶硅薄膜太阳能电池 132
 5.2.2 Si薄膜的材料特性 132
 5.2.3 非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用 136
 5.3 高纯硅烷在液晶显示器中的应用 138
 5.3 高纯硅烷在液晶显示器中的应用 139
 5.4 高纯硅烷在其它领域的应用 139
 5.4.1 在特种玻璃制造中的应用 139
 5.4.2 在电子部件制造中的应用 140
 5.4.3 在化合物半导体材料制造中的应用 140
 5.5 高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算 141
 第六章 高纯硅烷主要应用市场之一—集成电路产业的现况与趋势 143
 6.1 世界半导体硅片生产与市场发展 143
 6.1.1 世界半导体生产的现况 143
 6.1.2 世界半导体硅片的生产状况 145
 6.2 我国半导体晶圆生产与市场现况与发展 145
 6.2.1 我国集成电路市场、产业发展现状 145
 6.2.2 我国集成电路晶圆制造业情况 153
 第七章 高纯硅烷主要应用市场之二 —薄膜太阳能电池产业的现况与趋势 154
 7.1 国内外光伏产业的发展 154
 7.1.1 世界光伏产业的快速发展 154
 7.1.2 我国光伏产业发展环境与现况 155
 7.2 薄膜太阳能电池的生产与市场 163
 7.2.1 薄膜太阳能电池特点及品种 163
 7.2.2 薄膜太阳能电池未来市场发展前景 171
 7.2.3 薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化 174
 7.3 国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业 175
 第八章 高纯硅烷主要应用市场之三 —液晶显示器产业的现况与趋势 180
 8.1 世界平板显示器产业发展现况 180
 8.2 我国平板显示器产业现况与未来发展预测 181
 8.2.1 我国液晶显示产业发展概述 181
 8.2.2 我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测 183
 8.2.3 我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析 185
 
 
 图表目录
 图表 1 硅烷性能比较 18
 图表 2 气体按其特性分类图 21
 图表 3 杂质对硅低温选择性外延沉积的影响 24
 图表 4 露点与集成度的关系 25
 图表 5 微粒直径与集成度的关系 25
 图表 6 特殊气体供应流程图 27
 图表 7 硅烷的性能指标 33
 图表 8 氢化锂还原三氯氢硅制备硅烷工艺流程图 38
 图表 9 2017-2021年世界高纯硅烷产销分析 47
 图表 10 2017-2021年世界高纯硅烷市场规模分析 47
 图表 11 2021年国外高纯硅烷主要生产企业产销情况 47
 图表 12  近4年REC Silicon公司   流动资产周转次数变化情况 48
 图表 13  近4年REC Silicon公司   总资产周转次数变化情况 49
 图表 14  近4年REC Silicon公司   销售毛利率变化情况 49
 图表 15  近4年REC Silicon公司   资产负债率变化情况 49
 图表 16  近4年REC Silicon公司   产权比率变化情况 50
 图表 17  近4年REC Silicon公司   固定资产周转次数情况 50
 图表 18  近4年Dowcorning公司流动资产周转次数变化情况 52
 图表 19  近4年Dowcorning公司总资产周转次数变化情况 52
 图表 20  近4年Dowcorning公司销售毛利率变化情况 52
 图表 21  近4年Dowcorning公司资产负债率变化情况 53
 图表 22  近4年Dowcorning公司产权比率变化情况 53
 图表 23  近4年Dowcorning公司固定资产周转次数情况 54
 图表 24  近4年SODIFF新素材有限公司流动资产周转次数变化情况 55
 图表 25  近4年SODIFF新素材有限公司总资产周转次数变化情况 55
 图表 26  近4年SODIFF新素材有限公司销售毛利率变化情况 55
 图表 27  近4年SODIFF新素材有限公司资产负债率变化情况 56
 图表 28  近4年SODIFF新素材有限公司产权比率变化情况 56
 图表 29  近4年SODIFF新素材有限公司固定资产周转次数情况 57
 图表 30  近4年MEMC公司流动资产周转次数变化情况 58
 图表 31  近4年MEMC公司总资产周转次数变化情况 58
 图表 32  近4年MEMC公司销售毛利率变化情况 59
 图表 33  近4年MEMC公司资产负债率变化情况 59
 图表 34  近4年MEMC公司产权比率变化情况 59
 图表 35  近4年MEMC公司固定资产周转次数情况 60
 图表 36  近4年Air Liquid公司流动资产周转次数变化情况 61
 图表 37  近4年Air Liquid公司总资产周转次数变化情况 62
 图表 38  近4年Air Liquid公司销售毛利率变化情况 62
 图表 39  近4年Air Liquid公司资产负债率变化情况 63
 图表 40  近4年Air Liquid公司产权比率变化情况 63
 图表 41  近4年Air Liquid公司固定资产周转次数情况 63
 图表 42  近4年日本电气工业公司流动资产周转次数变化情况 64
 图表 43  近4年日本电气工业公司总资产周转次数变化情况 65
 图表 44  近4年日本电气工业公司销售毛利率变化情况 65
 图表 45  近4年日本电气工业公司资产负债率变化情况 65
 图表 46  近4年日本电气工业公司产权比率变化情况 66
 图表 47  近4年日本电气工业公司固定资产周转次数情况 66
 图表 48  近4年大阳日酸公司流动资产周转次数变化情况 67
 图表 49  近4年大阳日酸公司总资产周转次数变化情况 67
 图表 50  近4年大阳日酸公司销售毛利率变化情况 68
 图表 51  近4年大阳日酸公司资产负债率变化情况 68
 图表 52  近4年大阳日酸公司产权比率变化情况 69
 图表 53  近4年大阳日酸公司固定资产周转次数情况 69
 图表 54  近4年Evonik Industries公司流动资产周转次数变化情况 70
 图表 55  近4年Evonik Industries公司总资产周转次数变化情况 70
 图表 56  近4年Evonik Industries公司销售毛利率变化情况 71
 图表 57  近4年Evonik Industries公司资产负债率变化情况 71
 图表 58  近4年Evonik Industries公司产权比率变化情况 72
 图表 59  近4年Evonik Industries公司固定资产周转次数情况 72
 图表 60 2017-2021年国内高纯硅烷生产分析 75
 图表 61  近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数情况 76
 图表 62  近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数变化情况 76
 图表 63  近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 76
 图表 64  近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 77
 图表 65  近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况 77
 图表 66  近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况 78
 图表 67  近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况 78
 图表 68  近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况 79
 图表 69  近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况 79
 图表 70  近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况 79
 图表 71  近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况 80
 图表 72  近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况 80
 图表 73  近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数情况 82
 图表 74  近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数变化情况 82
 图表 75  近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 83
 图表 76  近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 83
 图表 77  近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况 84
 图表 78  近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况 84
 图表 79  近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况 85
 图表 80  近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况 85
 图表 81  近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况 86
 图表 82  近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况 86
 图表 83  近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况 87
 图表 84  近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况 87
 图表 85  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数情况 89
 图表 86  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数变化情况 89
 图表 87  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况 90
 图表 88  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况 90
 图表 89  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况 91
 图表 90  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况 91
 图表 91  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况 92
 图表 92  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况 92
 图表 93  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况 93
 图表 94  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况 93
 图表 95  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况 94
 图表 96  近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况 94
 图表 97  近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况 96
 图表 98  近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况 96
 图表 99  近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 97
 图表 100  近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 97
 图表 101  近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况 98
 图表 102  近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况 98
 图表 103  近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况 99
 图表 104  近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况 99
 图表 105  近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况 100
 图表 106  近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况 100
 图表 107  近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况 101
 图表 108  近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况 101
 图表 109  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况 102
 图表 110  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况 103
 图表 111  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况 103
 图表 112  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况 103
 图表 113  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况 104
 图表 114  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况 104
 图表 115  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况 105
 图表 116  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况 105
 图表 117  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况 106
 图表 118  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况 106
 图表 119  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况 107
 图表 120  近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况 107
 图表 121  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况 109
 图表 122  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况 109
 图表 123  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况 110
 图表 124  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况 110
 图表 125  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况 111
 图表 126  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况 111
 图表 127  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况 112
 图表 128  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况 112
 图表 129  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况 113
 图表 130  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况 113
 图表 131  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况 114
 图表 132  近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况 114
 图表 133  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况 116
 图表 134  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况 116
 图表 135  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况 116
 图表 136  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况 117
 图表 137  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况 117
 图表 138  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况 118
 图表 139  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况 118
 图表 140  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况 119
 图表 141  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况 119
 图表 142  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况 119
 图表 143  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况 120
 图表 144  近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况 120
 图表 145 TiC涂层的模型 123
 图表 146 CVD法的反应类型和所沉积材料 125
 图表 147  CVD采用的加热方式 126
 图表 148 开口体系CVD设备示意图 126
 图表 149 几种开口体系的反应器示意图 127
 图表 150 制备ZnSe单晶设备示意图 128
 图表 151 非晶硅太阳能电池结构图 132
 图表 152 非晶硅柔性太阳能电池 133
 图表 153 大面积集成型叠层太阳能电池 135
 图表 154 子电池示意图 135
 图表 155 非晶硅太阳电池的制备流程 136
 图表 156 2021-2026年我国高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算 141
 图表 157 2020-2021年全球半导体材料销售分析 143
 图表 158 2017-2021年全球半导体材料销售分析 145
 图表 159 2017-2021年世界半导体硅片出货量分析 145
 图表 160 2014-2021年我国集成电路行业增长情况 146
 图表 161 2021年我国集成电路出口情况 147
 图表 162 2021年集成电路产业内销产值增长情况 147
 图表 163 2014-2021年我国集成电路固定资产投资增长情况 148
 图表 164 2021年我国集成电路行业经济效益增长情况 148
 图表 165 2017-2021年我国集成电路晶圆制造业发展规模分析 153
 图表 166 不同薄膜太阳能电池研究应用水平 164
 图表 167 现有各种太阳能电池比较 171
 图表 168 中国大陆高世代面板线产能分布 184
 图表 169 中国大陆待投产高世代面板线 184
 图表 170 国家新型显示产业政策 186
 图表 171 各省市新型显示产业政策 187

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